真空泵的分类有哪些？

       真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的设备，随着真空技术和应用的不断发展，真空泵的种类也越来越多。

       1、按性能特点和用途分类

       ①低真空泵

       泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

       ②中真空泵

       极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

       ③高真空泵

       极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

       ④超高真空泵

       极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

       2、按真空泵的结构可分为：

       ①往复式真空泵

       ②回转式真空泵

       ③射流式真空泵

       3、按真空泵气室工作的环境可分为：

       ①无油真空泵

       ②油封真空泵   

       4、按真空泵工作的方式可分为：

       ①旋片真空泵

       ②隔膜真空泵